<strike id="ku0qw"></strike>

    1.  
      標王 熱搜:
       
       
      當前位置: 首頁 » 資料 » 硅鋼論文 »

      基于縫式噴嘴的高硅鋼滲硅速率實驗研究

      PDF文檔
      • 文件類型:PDF文檔
      • 文件大小:2M
      • 更新日期:2015-12-30
      • 瀏覽次數:0   下載次數:0
      進入下載
      詳細介紹

      目的:研究基于縫式噴嘴的SiCl4和N2混合氣體的噴射工藝參數對CVD法制備6.5%Si鋼滲硅速率的影響。方法采用不同的反應溫度、SiCl4氣體體積分數、混合氣體流量進行滲硅實驗,通過掃描電鏡、能譜分析、失重比研究這3個參數對滲硅速率的影響,并對比分析噴嘴噴射反應氣體和均勻氣氛對滲硅速率的影響。結果縫式噴嘴噴射反應氣體能極大提升滲硅速率。隨著溫度的升高,滲硅速率不斷升高,達到1100℃后,滲硅速率趨于飽和不再有明顯變化。隨著SiCl4氣體體積分數和混合氣體流量的升高,滲硅速率均先升高,再逐漸降低,當SiCl4氣體體積分數為15%時,滲硅速率達到最大;當混合氣體流量為1 L/min時,滲硅速率達到峰值。結論 CVD法制備6.5%Si鋼時,采用縫式噴嘴噴射反應氣體具有明顯的優勢,最佳工藝參數為:反應溫度1170℃,SiCl4氣體體積分數15%,混合氣體流量1 L/min。

      作 者:
      王清 陳建鈞 相穎杰 厚康 何丹 WANG Qing CHEN Jian-jun XIANG Ying-jie HOU Kang HE Dan  
      作者單位:
      華東理工大學 機械與動力工程學院,上海,200237 
      刊 名:
      表面技術  ISTIC PKU
      英文刊名:
      Surface Technology 
      年,卷(期):
      2015 (10) 
      基金項目:
       
       
      [ 資料搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告訴好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 關閉窗口 ]

      下載地址












      0條 [查看全部]  相關評論
       
      更多»相關資料
      推薦資料
      本類下載排行
      總下載排行
       
      網站首頁 | 關于我們 | 聯系方式 | 使用協議 | 版權隱私 | 網站地圖 | 排名推廣 | 廣告服務 | 積分換禮 | 網站留言 | RSS訂閱
      Powered by DESTOON
       
      香港马会资枓一肖中特三肖期期